TGA-327高精度痕量气体分析仪
产品概述：
高精度痕量气体分析仪（TGA-327）是一款专为半导体行业空气分子污染分析（AMC）测量氟化氢(HF)而设计的专业仪器，采用光腔衰荡光谱技术（CRDS），具有超高的灵敏度，其检测下限可达ppt级别。不需要现场校准，非常适合连续测量。
该分析仪内部管路都进行了特殊涂层，可以有效的减小氟化氢(HF)分子在管道壁上的吸附，加速测量的响应时间并消除测量偏差。同时分析仪采 用小体积腔设计，能够进一步提升测量速度。
光腔衰荡光谱（CRDS）与离子迁移谱（IMS）和离子色谱传统技术相比，具有探测下限低、响应时间快、无需耗材等显著优势，该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性，是半导体行业AMC连续监测的理想选择。
立即咨询 该分析仪内部管路都进行了特殊涂层，可以有效的减小氟化氢(HF)分子在管道壁上的吸附，加速测量的响应时间并消除测量偏差。同时分析仪采 用小体积腔设计，能够进一步提升测量速度。
光腔衰荡光谱（CRDS）与离子迁移谱（IMS）和离子色谱传统技术相比，具有探测下限低、响应时间快、无需耗材等显著优势，该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性，是半导体行业AMC连续监测的理想选择。
产品概述
高精度痕量气体分析仪（TGA-327）是一款专为半导体行业空气分子污染分析（AMC）测量氟化氢(HF)而设计的专业仪器，采用光腔衰荡光谱技术（CRDS），具有超高的灵敏度，其检测下限可达ppt级别。不需要现场校准，非常适合连续测量。
该分析仪内部管路都进行了特殊涂层，可以有效的减小氟化氢(HF)分子在管道壁上的吸附，加速测量的响应时间并消除测量偏差。同时分析仪采 用小体积腔设计，能够进一步提升测量速度。
光腔衰荡光谱（CRDS）与离子迁移谱（IMS）和离子色谱传统技术相比，具有探测下限低、响应时间快、无需耗材等显著优势，该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性，是半导体行业AMC连续监测的理想选择。
该分析仪内部管路都进行了特殊涂层，可以有效的减小氟化氢(HF)分子在管道壁上的吸附，加速测量的响应时间并消除测量偏差。同时分析仪采 用小体积腔设计，能够进一步提升测量速度。
光腔衰荡光谱（CRDS）与离子迁移谱（IMS）和离子色谱传统技术相比，具有探测下限低、响应时间快、无需耗材等显著优势，该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性，是半导体行业AMC连续监测的理想选择。
产品特点
（1）ppt级别的灵敏度、精度以及准确度
（2）免标定，低漂移
（3）响应时间快
（4）连续监测
（5）无耗材成本
（2）免标定，低漂移
（3）响应时间快
（4）连续监测
（5）无耗材成本
应用领域
半导体行业AMC连续监测、洁净室监测、FOUP监测
